Установка «Лучник» станет важнейшим элементом технологического цикла изготовления микрочипов, обеспечивая высочайшую точность совмещения слоев на кремниевых подложках диаметром 150 и 200 миллиметров. Ее задача — обеспечить контроль над технологическими процессами с точностью до 130 нанометров и поддерживать производительность не менее 75 пластин в час. Система оснащается инновационными интерферометрическими датчиками и алгоритмами машинного зрения для оперативного выявления отклонений и автоматической корректировки производственного процесса.

Проект представляет собой крайне сложную инженерную задачу, объединяя достижения прецизионной механики, фундаментальных исследований в области оптики и разработки специализированного программного обеспечения. Рабочий инструмент станка должен перемещаться с минимальной погрешностью, измеряемой на уровне нанометров, а применяемые линзы требуют высоких показателей светосилы. Несмотря на значительные трудности, проект должен быть завершён до июля 2029 года.

При этом «Микрон» становится не только исполнителем работ, но и конечным потребителем оборудования, что позволяет специалистам завода быстро внедрять промежуточные образцы на действующую производственную линию с использованием 200-миллиметровых пластин. Такой подход увеличивает вероятность успешного завершения проекта и выпуска конкурентоспособного изделия мирового уровня.

Вашу заявку Вы можете оставить на нашем сайте, отправить на почту info@altonix.ru,

в MAX по номеру телефона +8 (900) 303 50 05,

а также по телефону:

+7 (495) 120-80-22

+7 (473) 300 35 85